Основы конструирования вакуумных плазменных установок, учебное пособие по курсам "Технологические ионно-плазменные установки" и "Промышленные магнетронные установки"
- 100 экз.9785703840290/[2015-34472]/русский/Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учебное пособие по курсам "Технологические ионно-плазменные установки" и "Промышленные магнетронные установки" / М. К. Марахтанов, Д. В. Духопельников, Е. В. Воробьев ; под ред. А. Б. Ивашкина ; Московский гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана, [Фак. "Энергомашиностроение", Каф. "Плазменные энергетические установки"].Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учебное пособие по курсам "Технологические ионно-плазменные установки" и "Промышленные магнетронные установки" / М. К. Марахтанов, Д. В. Духопельников, Е. В. Воробьев.Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учебное пособие по курсам "Технологические ионно-плазменные установки" и "Промышленные магнетронные установки".Москва/Изд-во МГТУ/, 2014 ( ). - Изд-во МГТУ, 2014. - 91, [2] с. : ил. ; 20 см. - (Учебное пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана).Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учебное пособие по курсам "Технологические ионно-плазменные установки" и "Промышленные магнетронные установки". Москва, 2014 .
Библиогр. в конце кн. (19 назв.). Библиогр. в конце кн. (19 назв.).Вакуумные насосы -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений/Материалы -- Плазменная обработка -- Оборудование -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/nlr_sh2/З776-02я73-1/Ж624-5-02я73-1/
Библиогр. в конце кн. (19 назв.). Библиогр. в конце кн. (19 назв.).Вакуумные насосы -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений/Материалы -- Плазменная обработка -- Оборудование -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/nlr_sh2/З776-02я73-1/Ж624-5-02я73-1/