Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии, учебное пособие, [для студентов специальностей "Физическая электроника" (210101), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Микросистемная техника" (210108) и студентов направлений подготовки "Нанотехнологии и микросистемная техника" (222900), "Электроника и наноэлектроника" (210100)]
- 100 экз.9785733909745/[2013-107677]/русский (rus)/Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : учебное пособие : [для студентов специальностей "Физическая электроника" (210101), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Микросистемная техника" (210108) и студентов направлений подготовки "Нанотехнологии и микросистемная техника" (222900), "Электроника и наноэлектроника" (210100)] / И.И. Амиров, В.Ф. Лукичев, А.А. Мельников, А.С. Шумилов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики".Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : учебное пособие : [для студентов специальностей "Физическая электроника" (210101), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Микросистемная техника" (210108) и студентов направлений подготовки "Нанотехнологии и микросистемная техника" (222900), "Электроника и наноэлектроника" (210100)] / И.И. Амиров, В.Ф. Лукичев, А.А. Мельников, А.С. Шумилов.Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : учебное пособие : [для студентов специальностей "Физическая электроника" (210101), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Микросистемная техника" (210108) и студентов направлений подготовки "Нанотехнологии и микросистемная техника" (222900), "Электроника и наноэлектроника" (210100)].Москва/Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики"/, 2013 ( ). - Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики", 2013. - 36 с. : ил. ; 20 см.Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : учебное пособие : [для студентов специальностей "Физическая электроника" (210101), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Микросистемная техника" (210108) и студентов направлений подготовки "Нанотехнологии и микросистемная техника" (222900), "Электроника и наноэлектроника" (210100)]. Москва, 2013 .
Библиогр.: с. 32-34 (19 назв.). Библиогр.: с. 32-34 (19 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-06я73-1/
Библиогр.: с. 32-34 (19 назв.). Библиогр.: с. 32-34 (19 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-06я73-1/