Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига, Дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. в форме науч. докл., Спец. 01.04.10
А98/14102 [98-14102a]/русский (rus)/Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига : Дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. в форме науч. докл. : Спец. 01.04.10 / Рос. акад. наук, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе.Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига : Дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. в форме науч. докл. : Спец. 01.04.10 / Рос. акад. наук, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе.Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига : Дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. в форме науч. докл. : Спец. 01.04.10.СПб./, 1998 ( ). - 1998. - 47 с. : граф. ; 20 см.Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига : Дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. в форме науч. докл. : Спец. 01.04.10. СПб., 1998 .
Библиогр.: с. 40 - 47 (146 назв.). Библиогр.: с. 40 - 47 (146 назв.).01.04.10/
Библиогр.: с. 40 - 47 (146 назв.). Библиогр.: с. 40 - 47 (146 назв.).01.04.10/