Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014, МЭС - 2014, VI всероссийская научно-техническая конференция, 29 сентября - 03 октября 2014 года, сборник трудов
русский/Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014 : МЭС - 2014 : VI всероссийская научно-техническая конференция, 29 сентября - 03 октября 2014 года : сборник трудов.Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014 : МЭС - 2014 : VI всероссийская научно-техническая конференция, 29 сентября - 03 октября 2014 года : сборник трудов.Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014 : МЭС - 2014 : VI всероссийская научно-техническая конференция, 29 сентября - 03 октября 2014 года : сборник трудов.Москва/Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике/, 2014 ( ). - Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике, 2014. - ; 29 см.Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014 : МЭС - 2014 : VI всероссийская научно-техническая конференция, 29 сентября - 03 октября 2014 года : сборник трудов. Москва, 2014 .
В вып. дан загл.: VI всероссийская научно-техническая конференция "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014". - На обл.: ISSN 2078-7707.VI всероссийская научно-техническая конференция "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014"/Микроэлектроника -- Съезды, совещания и т.п/Наноэлектроника -- Съезды, совещания и т.п/nlr_sh1/nlr_sh2/nlr_sh2/З844.1я431(2)/"Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014", всероссийская научно-техническая конференция (; Москва)/
В вып. дан загл.: VI всероссийская научно-техническая конференция "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014". - На обл.: ISSN 2078-7707.VI всероссийская научно-техническая конференция "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014"/Микроэлектроника -- Съезды, совещания и т.п/Наноэлектроника -- Съезды, совещания и т.п/nlr_sh1/nlr_sh2/nlr_sh2/З844.1я431(2)/"Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014", всероссийская научно-техническая конференция (; Москва)/