Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков, [монография
- 200 экз.978-5-86889-773-3/[КН-П-18-010074]/русский (rus)/Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков : [монография / Климов А. С., доктор технических наук, Медовник А. В., Юшков Ю. Г., , кандидаты технических наук, доценты и др.] ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники.Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков : [монография / Климов А. С., доктор технических наук, Медовник А. В., Юшков Ю. Г., , кандидаты технических наук, доценты и др.].Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков : [монография.Томск/Изд-во ТУСУРа/, 2017 ( ). - Изд-во ТУСУРа, 2017. - 186, [2] с. : ил., табл. ; 20 см.Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков : [монография. Томск, 2017 .
Авт. указаны на обороте тит. л. и в конце кн. - Библиогр. в конце разд. Библиогр. в конце разд.Плазменные источники электронов/Диэлектрики -- Электронно-лучевая обработка/З234.08/Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники /
Авт. указаны на обороте тит. л. и в конце кн. - Библиогр. в конце разд. Библиогр. в конце разд.Плазменные источники электронов/Диэлектрики -- Электронно-лучевая обработка/З234.08/Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники /