Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами, [монография]
- 300 экз.9785944690449/[2020-14554]/русский/Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами : [монография] / Степанов А.Л., Нуждин В.И., Рогов А.М., Воробьев В.В.Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами : [монография] / Степанов А.Л., Нуждин В.И., Рогов А.М., Воробьев В.В.Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами : [монография].Казань/ФИЦПРЕСС/Изд-во ФИЦ КазНЦ РАН/, 2019 ( ). - ФИЦПРЕСС, Изд-во ФИЦ КазНЦ РАН, 2019. - 186 с. : ил., табл., цв. ил. ; 25 см.Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами : [монография]. Казань, 2019 .
Библиогр. в конце гл. Библиогр. в конце гл.Германий пористый -- Ионная имплантация/Кремний пористый -- Ионная имплантация/Металлы -- Ионная имплантация/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh1/nlr_sh2/К209.1/З843.322.208/З843.322.408/
Библиогр. в конце гл. Библиогр. в конце гл.Германий пористый -- Ионная имплантация/Кремний пористый -- Ионная имплантация/Металлы -- Ионная имплантация/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh1/nlr_sh2/К209.1/З843.322.208/З843.322.408/