Технология кремниевой наноэлектроники, учебное пособие, для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника"
- 100 экз.9785868897139/[2016-23100]/русский (rus)/Технология кремниевой наноэлектроники : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Том. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники.Технология кремниевой наноэлектроники : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко.Технология кремниевой наноэлектроники : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника". - 2-е изд.Томск/ТУСУР/, 2015 ( ). - ТУСУР, 2015. - 318 с. : ил., цв. ил. ; 20 см.Технология кремниевой наноэлектроники : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника". 2-е изд.Томск, 2015 .
Библиогр.: с. 317-318 (23 назв.). Библиогр.: с. 317-318 (23 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/Кремний -- Наноструктуры -- Учебные издания для высших учебных заведений/З843.322.4я73-1/З844.15-06я73-1/
Библиогр.: с. 317-318 (23 назв.). Библиогр.: с. 317-318 (23 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/Кремний -- Наноструктуры -- Учебные издания для высших учебных заведений/З843.322.4я73-1/З844.15-06я73-1/