Micro- electro-mechanical system, training manual
Ик 2020-3/452 - 100 экз.978-5-7256-0923-3/[КН-П-20-021459]/английский/Micro- electro-mechanical system = МЭМС - микроэлектромеханические системы : training manual / N. E. Korobova & L. R. Boev ; edited by doctor of technical sciences S. P. Timoshenkov ; Ministry of science and higher education, National research university of electronic technology - MIET.Micro- electro-mechanical system : training manual / N. E. Korobova & L. R. Boev.Micro- electro-mechanical system = МЭМС - микроэлектромеханические системы : training manual.Moscow/MIET/, 2019 ( ). - MIET, 2019. - 156 с. : ил. ; 20 см.Micro- electro-mechanical system : training manual. Moscow, 2019 .
Библиогр.: с. 154. Библиогр.: с. 154.МЭМС - микроэлектромеханические системы/Микроэлектромеханические системы -- Учебные издания/nlr_sh2/З26я7/З291я7/Коробова , Наталья Егоровна ./Боев , Леонид Романович ./
Библиогр.: с. 154. Библиогр.: с. 154.МЭМС - микроэлектромеханические системы/Микроэлектромеханические системы -- Учебные издания/nlr_sh2/З26я7/З291я7/Коробова , Наталья Егоровна ./Боев , Леонид Романович ./