Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства, сборник научных трудов
2007-3/22565 2007-3/22565 - 60 экз.978-5-7256-0450-4/[2007-44407]/русский (rus)/Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства : сборник научных трудов / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электр. техники (техн. ун-т) ; под ред. д.т.н., проф. С.П. Тимошенкова.Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства : сборник научных трудов / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электр. техники (техн. ун-т).Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства : сборник научных трудов.Москва/Московский государственный институт электронной техники/, 2007 ( ). - Московский государственный институт электронной техники, 2007. - 144 с. : ил. ; 21 см. - (Приоритетные национальные проекты).Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства : сборник научных трудов. Москва, 2007 .
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Микросистемная техника -- Производство -- Сборники/З844.1-06я43/Московский государственный институт электронной техники /
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Микросистемная техника -- Производство -- Сборники/З844.1-06я43/Московский государственный институт электронной техники /