Формирование функциональных слоев, учебное пособие, для студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника"
- 100 экз.978-5-7038-5350-4/[КН-П-20-069079]/русский (rus)/Формирование функциональных слоев : учебное пособие : для студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника" / Ю.В. Панфилов ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)", Факультет "Машиностроительные технологиии", Кафедра "Электронные технологии в машиностроении".Формирование функциональных слоев : учебное пособие : для студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника" / Ю.В. Панфилов.Формирование функциональных слоев : учебное пособие : для студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника".Москва/Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана/, 2020 ( ). - Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020. - 90, [2] с. : ил., табл. ; 24 см. - (Учебное пособие МГТУ им. Н.Э. Баумана).Формирование функциональных слоев : учебное пособие : для студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника". Москва, 2020 .
Библиогр.: с. 89. Библиогр.: с. 89.Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-1/
Библиогр.: с. 89. Библиогр.: с. 89.Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-1/