Установка для исследования процессов ионного распыления под влиянием пучков ионов средних энергий
2009-6/1416 2009-6/1416 [2009-54594]/русский/Установка для исследования процессов ионного распыления под влиянием пучков ионов средних энергий / К. Пышняк, М. Турек, А. Дроздзель [и др.].Установка для исследования процессов ионного распыления под влиянием пучков ионов средних энергий / К. Пышняк, М. Турек, А. Дроздзель [и др.].Установка для исследования процессов ионного распыления под влиянием пучков ионов средних энергий.Дубна/Издательский отдел Объединенного института ядерных исследований/, 2008 ( ). - Издательский отдел Объединенного института ядерных исследований, 2008. - 7, [1] c. : ил. ; 22 см. - (Препринт / Объединенный ин-т ядер. исслед. ; Р-13-2008-145).Установка для исследования процессов ионного распыления под влиянием пучков ионов средних энергий. Дубна, 2008 .
Рез. на англ. яз. - Библиогр. в конце кн. (5 назв.). Библиогр. в конце кн. (5 назв.).Полупроводниковые приборы -- Производство -- Оборудование/З852-06-5/
Рез. на англ. яз. - Библиогр. в конце кн. (5 назв.). Библиогр. в конце кн. (5 назв.).Полупроводниковые приборы -- Производство -- Оборудование/З852-06-5/