Физические основы электронно-ионной технологии, текст лекций, [для студентов факультета электроники, обучающихся по специальности 071400]
2005-4/25788 2005-4/25788 - 100 экз.5-7629-0604-3/[2005-33123]/русский (rus)/Физические основы электронно-ионной технологии : текст лекций : [для студентов факультета электроники, обучающихся по специальности 071400] / В.А. Вольпяс, А.В. Тумаркин ; М-во образования и науки РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ".Физические основы электронно-ионной технологии : текст лекций : [для студентов факультета электроники, обучающихся по специальности 071400] / В.А. Вольпяс, А.В. Тумаркин.Физические основы электронно-ионной технологии : текст лекций : [для студентов факультета электроники, обучающихся по специальности 071400].Санкт-Петербург/ЛЭТИ/, 2004 ( ). - ЛЭТИ, 2004. - 42,[2] с. : ил. ; 21 см.Физические основы электронно-ионной технологии : текст лекций : [для студентов факультета электроники, обучающихся по специальности 071400]. Санкт-Петербург, 2004 .
Библиогр. в конце кн. (6 назв.). Библиогр. в конце кн. (6 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Электронно-ионная технология -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Интегральные схемы -- Производство -- Электронно-ионная технология -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-06я73-2/
Библиогр. в конце кн. (6 назв.). Библиогр. в конце кн. (6 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Электронно-ионная технология -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Интегральные схемы -- Производство -- Электронно-ионная технология -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-06я73-2/