Механизмы образования дефектов при гетероэпитаксии широкозонных нитридов AIN и GaN на кремнии и сапфире, учебное пособие
- 100 экз.9785725609325/[2021-48182]/русский/Механизмы образования дефектов при гетероэпитаксии широкозонных нитридов AIN и GaN на кремнии и сапфире : учебное пособие / А.В. Добрынин, В.К. Прокофьева, М.О. Никифоров ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ".Механизмы образования дефектов при гетероэпитаксии широкозонных нитридов AIN и GaN на кремнии и сапфире : учебное пособие / А.В. Добрынин, В.К. Прокофьева, М.О. Никифоров.Механизмы образования дефектов при гетероэпитаксии широкозонных нитридов AIN и GaN на кремнии и сапфире : учебное пособие.Москва/МИЭТ/, 2019 ( ). - МИЭТ, 2019. - 132 с. : ил. ; 20 см.Механизмы образования дефектов при гетероэпитаксии широкозонных нитридов AIN и GaN на кремнии и сапфире : учебное пособие. Москва, 2019 .
Библиогр.: с. 126-130 (57 назв.). Библиогр.: с. 126-130 (57 назв.).Нитриды галлия -- Тонкие пленки -- Дефекты/Нитриды алюминия -- Тонкие пленки -- Дефекты/Нитриды галлия -- Гетероэпитаксия/Нитриды алюминия -- Гетероэпитаксия/Тонкие пленки -- Нанесение на подложку/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh1/nlr_sh2/З843.324/З844.13-060.7/
Библиогр.: с. 126-130 (57 назв.). Библиогр.: с. 126-130 (57 назв.).Нитриды галлия -- Тонкие пленки -- Дефекты/Нитриды алюминия -- Тонкие пленки -- Дефекты/Нитриды галлия -- Гетероэпитаксия/Нитриды алюминия -- Гетероэпитаксия/Тонкие пленки -- Нанесение на подложку/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh1/nlr_sh2/З843.324/З844.13-060.7/