Processes of micro-and nanotechnology, учебное пособие
Ик 2022-4/4 - 47 экз.978-5-7629-2816-8/[2021-55309]/английский/Processes of micro-and nanotechnology : учебное пособие / В. В. Витько, А. А. Семенов, П. Ю. Белявский [и др.] ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина).Processes of micro-and nanotechnology : учебное пособие / В. В. Витько, А. А. Семенов, П. Ю. Белявский [и др.].Processes of micro-and nanotechnology : учебное пособие.Санкт-Петербург/Издательство СПбГЭТУ "ЛЭТИ"/, 2021 ( ). - Издательство СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2021. - 83, [2] с. : ил. ; 21 см.Processes of micro-and nanotechnology : учебное пособие. Санкт-Петербург, 2021 .
"List of the recommended lit.": с. 83. - Авт. указаны на обороте тит. с. "List of the recommended lit.": с. 83. Авт. указаны на обороте тит. с.Тонкие пленки -- Осаждение из плазмы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Тонкие пленки -- Нанесение распылением -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-06я73-1/З844.13-060.7я73-1/
"List of the recommended lit.": с. 83. - Авт. указаны на обороте тит. с. "List of the recommended lit.": с. 83. Авт. указаны на обороте тит. с.Тонкие пленки -- Осаждение из плазмы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Тонкие пленки -- Нанесение распылением -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-06я73-1/З844.13-060.7я73-1/