Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении, учебное пособие, [для обеспечения обучения по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлениям подготовки: 09.03.01 "Информатика и вычислительная техника" (уровень бакалавриата) и 12.03.01 "Приборостроение" (уровень бакалавриата)]
2024-7/1720 2024-7/1720 - 100 экз.978-5-7038-6098-4/978-5-7038-6155-4 (т. 2)/[КН-П-24-010371]/русский (rus)/Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие : [для обеспечения обучения по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлениям подготовки: 09.03.01 "Информатика и вычислительная техника" (уровень бакалавриата) и 12.03.01 "Приборостроение" (уровень бакалавриата)] / В. П. Михайлов, К. М. Моисеев, Ю. В. Панфилов ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)".Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие : [для обеспечения обучения по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлениям подготовки: 09.03.01 "Информатика и вычислительная техника" (уровень бакалавриата) и 12.03.01 "Приборостроение" (уровень бакалавриата)] / В. П. Михайлов, К. М. Моисеев, Ю. В. Панфилов.Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие : [для обеспечения обучения по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлениям подготовки: 09.03.01 "Информатика и вычислительная техника" (уровень бакалавриата) и 12.03.01 "Приборостроение" (уровень бакалавриата)].Москва/Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана/, 2023 ( ). - Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023. - 213 с. : ил., табл. ; 24 см. - (Библиотека "Приборостроение" / редакционная коллегия: В. А. Шахнов - главный редактор, д-р техн. наук, профессор, чл.-корр. РАН [и др.] ; т. 2). - (Приоритет 2030).Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие : [для обеспечения обучения по основным образовательным программам высшего профессионального образования по направлениям подготовки: 09.03.01 "Информатика и вычислительная техника" (уровень бакалавриата) и 12.03.01 "Приборостроение" (уровень бакалавриата)]. Москва, 2023 .
На обороте тит. с. ссылка на электрон. версию изд. - Библиогр.: с. 163. Библиогр.: с. 163.Электронные приборы -- Производство -- Вакуумное оборудование -- Учебные издания для высших учебных заведений/Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений/З85-06-5я73-1/З844.13-060.7я73-1/
На обороте тит. с. ссылка на электрон. версию изд. - Библиогр.: с. 163. Библиогр.: с. 163.Электронные приборы -- Производство -- Вакуумное оборудование -- Учебные издания для высших учебных заведений/Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений/З85-06-5я73-1/З844.13-060.7я73-1/