Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники, учебное пособие
- 1000 экз.978-5-7681-1598-2/[2023-24804]/русский/Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие / В. Г. Косушкин, Л. В. Кожитов, С. Г. Емельянов [и др.] ; Минобрнауки России, Юго-Западный государственный университет, Калужский филиал Московского государственного технического университета имени Н. Э. Баумана, Национальный исследовательский технологический университет "МИСИС", АО "НИИ НПО "Луч", Московский политехнический университет.Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие / В. Г. Косушкин, Л. В. Кожитов, С. Г. Емельянов [и др.].Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие.Курск/ЮЗГУ/, 2022 ( ). - ЮЗГУ, 2022. - 202 с. : ил., табл. ; 20 см.Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие. Курск, 2022 .
Авт. указаны на обороте тит. с. - Библиогр.: с. 189-190 (7 назв.). Библиогр.: с. 189-190 (7 назв.).Полупроводники -- Производство -- Технологические процессы -- Математическое моделирование -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/З843.308-1с11я73-1/Юго-Западный государственный университет (Курск)/
Авт. указаны на обороте тит. с. - Библиогр.: с. 189-190 (7 назв.). Библиогр.: с. 189-190 (7 назв.).Полупроводники -- Производство -- Технологические процессы -- Математическое моделирование -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/З843.308-1с11я73-1/Юго-Западный государственный университет (Курск)/