Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста, учебное пособие, для студентов старших курсов высших учебных заведений, аспирантов, исследователей и инженеров, работающих в области микроэлектронных технологий
- 30 экз.978-5-507-48885-8/русский (rus)/Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста : учебное пособие : для студентов старших курсов высших учебных заведений, аспирантов, исследователей и инженеров, работающих в области микроэлектронных технологий / В. Ю. Васильев.Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста : учебное пособие : для студентов старших курсов высших учебных заведений, аспирантов, исследователей и инженеров, работающих в области микроэлектронных технологий / В. Ю. Васильев.Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста : учебное пособие : для студентов старших курсов высших учебных заведений, аспирантов, исследователей и инженеров, работающих в области микроэлектронных технологий.Санкт-Петербург [и др.]/Лань/, 2024 ( ). - Лань, 2024. - 340 с. : ил., табл., портр. ; 24 см. - (Высшее образование).Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста : учебное пособие : для студентов старших курсов высших учебных заведений, аспирантов, исследователей и инженеров, работающих в области микроэлектронных технологий. Санкт-Петербург [и др.], 2024 .
На задней соронке пер. авт.: В. Ю. Васильев, д-р хим. наук, проф. - Библиогр.: с. 321–338 (241 назв.). Библиогр.: с. 321–338 (241 назв.).Тонкие пленки -- Осаждение из газовой фазы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Электроника пленочная -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-1/З843.08я73-1/
На задней соронке пер. авт.: В. Ю. Васильев, д-р хим. наук, проф. - Библиогр.: с. 321–338 (241 назв.). Библиогр.: с. 321–338 (241 назв.).Тонкие пленки -- Осаждение из газовой фазы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Электроника пленочная -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-1/З843.08я73-1/