Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники, учебное пособие для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" всех форм обучения
- 100 экз.978-5-502-01726-8/[КН-П-24-047731]/русский (rus)/Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники : учебное пособие для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" всех форм обучения / В. И. Наумов, Г. М. Мочалов ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева".Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники : учебное пособие для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" всех форм обучения / В. И. Наумов, Г. М. Мочалов.Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники : учебное пособие для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" всех форм обучения.Нижний Новгород/Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева/, 2023 ( ). - Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева, 2023. - 266 с. : ил., табл. ; 20 см.Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники : учебное пособие для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" всех форм обучения. Нижний Новгород, 2023 .
Библиогр.: с. 266 (9 назв.). Библиогр.: с. 266 (9 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Технологические процессы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Интегральные схемы -- Производство -- Оборудование -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-06я73-1/
Библиогр.: с. 266 (9 назв.). Библиогр.: с. 266 (9 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Технологические процессы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Интегральные схемы -- Производство -- Оборудование -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-06я73-1/