Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация, монография
- 500 экз.978-5-907961-52-4/[КН-П-25-045770]/русский (rus)/Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация : монография / О. В. Александров, Н. Н. Афонин, А. И. Дусь ; Министерство просвещения Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный педагогический университет".Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация : монография / О. В. Александров, Н. Н. Афонин, А. И. Дусь.Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация : монография.Воронеж/Воронежский государственный педагогический университет/, 2025 ( ). - Воронежский государственный педагогический университет, 2025. - 210 с. : ил. ; 21 см.Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация : монография. Воронеж, 2025 .
На 4-й с. обл. авт.: Александров О. В., д-р физ.-мат. наук, проф., Афонин Н. Н., д-р хим. наук, Дусь А. И., канд. физ.-мат. наук, доц. - Библиогр. в конце гл. Библиогр. в конце гл.Кремний -- Окисление термическое/Кремний -- Примеси -- Диффузия -- Математическое моделирование/Кремний -- Примеси -- Сегрегация -- Математическое моделирование/Интегральные схемы полупроводниковые -- Моделирование/З843.322.408/З844.15-02/
На 4-й с. обл. авт.: Александров О. В., д-р физ.-мат. наук, проф., Афонин Н. Н., д-р хим. наук, Дусь А. И., канд. физ.-мат. наук, доц. - Библиогр. в конце гл. Библиогр. в конце гл.Кремний -- Окисление термическое/Кремний -- Примеси -- Диффузия -- Математическое моделирование/Кремний -- Примеси -- Сегрегация -- Математическое моделирование/Интегральные схемы полупроводниковые -- Моделирование/З843.322.408/З844.15-02/