Материалы, процессы, оборудование в нано-, микро-, и оптоэлектронике, сборник научных трудов
2008-3/17181 2008-3/17181 - 80 экз.978-5-7256-0492-4/[2008-27958]/русский (rus)/Материалы, процессы, оборудование в нано-, микро-, и оптоэлектронике : сборник научных трудов / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) ; под ред. д.ф.-м.н., проф. Ю.Н. Коркишко.Материалы, процессы, оборудование в нано-, микро-, и оптоэлектронике : сборник научных трудов / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).Материалы, процессы, оборудование в нано-, микро-, и оптоэлектронике : сборник научных трудов.Москва/МИЭТ/, 2008 ( ). - МИЭТ, 2008. - 183 с. : ил. ; 20 см. - (Приоритетные национальные проекты).Материалы, процессы, оборудование в нано-, микро-, и оптоэлектронике : сборник научных трудов. Москва, 2008 .
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Наноэлектроника -- Сборники/Микроэлектроника -- Сборники/Оптоэлектроника -- Сборники/З844.1я43/З854.3я43/Московский государственный институт электронной техники /
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Наноэлектроника -- Сборники/Микроэлектроника -- Сборники/Оптоэлектроника -- Сборники/З844.1я43/З854.3я43/Московский государственный институт электронной техники /