Автоматизированый комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях
[2008-28407]/русский/Автоматизированый комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях / М. В. Меженный, В. А. Гребенников, Е. Б. Кульбацкий.Автоматизированый комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях / М. В. Меженный, В. А. Гребенников, Е. Б. Кульбацкий.Автоматизированый комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях.Москва/Институт прикладной математики РАН/, 2007 ( ). - Институт прикладной математики РАН, 2007. - 11 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Ин-т прикл. математики им. М.В. Келдыша, Рос. акад. наук ; № 92 за 2007 г.).Автоматизированый комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях. Москва, 2007 .
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 11 (6 назв.). Библиогр.: с. 11 (6 назв.).Кремний -- Монокристаллы -- Пластическая деформация -- Определение/nlr_sh2/З843.322.406.2-1-7/
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 11 (6 назв.). Библиогр.: с. 11 (6 назв.).Кремний -- Монокристаллы -- Пластическая деформация -- Определение/nlr_sh2/З843.322.406.2-1-7/