Корпускулярно-фотонные процессы и технологии, учебное пособие, для студентов высшего учебных заведений, обучающихся по специальности "Технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники"
2010-3/16512 2010-3/16512 - 100 экз.978-5-9616-0328-6/[2010-26677]/русский (rus)/Корпускулярно-фотонные процессы и технологии : учебное пособие : для студентов высшего учебных заведений, обучающихся по специальности "Технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" / В.И. Светцов, С.А. Смирнов ; Федер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования Иван. гос. хим.-технол. ун-т.Корпускулярно-фотонные процессы и технологии : учебное пособие : для студентов высшего учебных заведений, обучающихся по специальности "Технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" / В.И. Светцов, С.А. Смирнов.Корпускулярно-фотонные процессы и технологии : учебное пособие : для студентов высшего учебных заведений, обучающихся по специальности "Технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники".Иваново/Ивановский гос. химико-технологический ун-т/, 2009 ( ). - Ивановский гос. химико-технологический ун-т, 2009. - 275, [1] с. : ил. ; 21 см.Корпускулярно-фотонные процессы и технологии : учебное пособие : для студентов высшего учебных заведений, обучающихся по специальности "Технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники". Иваново, 2009 .
Библиогр.: с. 271-272 (28 назв.). Библиогр.: с. 271-272 (28 назв.).Материалы -- Лазерная обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/Материалы -- Электронно-лучевая обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/Материалы -- Ионная обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/Ж618я73-1/Ж614я73-1/Ж621я73-1/Ж614я73-1/Ж656я73-1/
Библиогр.: с. 271-272 (28 назв.). Библиогр.: с. 271-272 (28 назв.).Материалы -- Лазерная обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/Материалы -- Электронно-лучевая обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/Материалы -- Ионная обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/Ж618я73-1/Ж614я73-1/Ж621я73-1/Ж614я73-1/Ж656я73-1/