Элионные процессы и нанотехнологии, учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия", учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"
2011-5/7540 2011-5/7540 - 500 экз.978-5-7038-3501-2 (кн.10)/978-5-7038-3509-8/[2011-68326]/русский (rus)/Элионные процессы и нанотехнологии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" / Ю.В. Панфилов ; под ред. засл. деятеля науки РФ, чл.-корр. РАН, проф. В.А. Шахнова.Элионные процессы и нанотехнологии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" / Ю.В. Панфилов.Элионные процессы и нанотехнологии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия".Москва/Изд-во МГТУ/, 2011 ( ). - Изд-во МГТУ, 2011. - 127 с. : ил. ; 22 см. - (Библиотека "Наноинженерия" ; кн. 10). - (Комплект учебно-методических комплексов дисциплин по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети "Наноинженерия").Элионные процессы и нанотехнологии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия". Москва, 2011 .
Библиогр.: с. 125 (8 назв.). Библиогр.: с. 125 (8 назв.).Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений/Интегральные схемы -- Производство -- Электронно-ионная технология -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-1/З844.15-06я73-1/
Библиогр.: с. 125 (8 назв.). Библиогр.: с. 125 (8 назв.).Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений/Интегральные схемы -- Производство -- Электронно-ионная технология -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-1/З844.15-06я73-1/