Тематические указатели литературы. Вып.323: Бесконтактные методы контроля толщины и неплоскосности полупроводниковых слоев
русский (rus)/Бесконтактные методы контроля толщины и неплоскосности полупроводниковых слоев / О.Н. Пономаренко.Бесконтактные методы контроля толщины и неплоскосности полупроводниковых слоев / О.Н. Пономаренко.Бесконтактные методы контроля толщины и неплоскосности полупроводниковых слоев.Б. м./, 1981 ( ). - 1981. - (... ; Вып.323 ; 1981, Вып.4).Бесконтактные методы контроля толщины и неплоскосности полупроводниковых слоев. Б. м., 1981 .Тематические указатели литературы / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.323