Описание RUSMARC Карточка

Тематические указатели литературы. Вып.134: Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии

русский (rus)/Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии / Г.Э. Пинес, Я.П. Рокицкая.Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии / Г.Э. Пинес, Я.П. Рокицкая.Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии.Б. м./, 1970 ( ). - 1970. - (... ; Вып.134 ; 2[1]).Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии. Б. м., 1970 .Тематические указатели литературы / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.134 Пинес, Г.Э. .Г.Э.Рокицкая /