Тематические указатели литературы. Вып.178: Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками
русский (rus)/Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками / А.П. Казаков, Я.П. Рокицкая.Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками / А.П. Казаков, Я.П. Рокицкая.Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками.Б. м./, 1971 ( ). - 1971. - (... ; Вып.178 ; 1971, Вып.3[1]).Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками. Б. м., 1971 .Тематические указатели литературы / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.178