Изготовление фотошаблонов для микроэлектротехники
русский/Изготовление фотошаблонов для микроэлектротехники / Р.А. Карпович.Изготовление фотошаблонов для микроэлектротехники / Р.А. Карпович.Изготовление фотошаблонов для микроэлектротехники.Б. м./, 1972 ( ). - 1972. - (... ; Вып.15 ; 1972, Вып.9).Изготовление фотошаблонов для микроэлектротехники. Б. м., 1972 .