Тематические указатели литературы. Вып.152[1]: Нанесение тонких пленок в вакууме
русский (rus)/Нанесение тонких пленок в вакууме / И.И. Френкель.Нанесение тонких пленок в вакууме / И.И. Френкель.Нанесение тонких пленок в вакууме., 1971 ( ). - 1971. - (... ; Вып.152[1] ; 1971, 3).Нанесение тонких пленок в вакууме. 1971 .Тематические указатели литературы / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.152[1]