Описание RUSMARC Карточка

Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем"

2011-3/35692 2011-3/35692 - 550 экз.978-5-7256-0652-2/[2011-82092]/русский (rus)/Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем" / С.А. Гаврилов, А.Н. Белов, А.В. Железнякова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем" / С.А. Гаврилов, А.Н. Белов, А.В. Железнякова.Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем".Москва/МИЭТ/, 2011 ( ). - МИЭТ, 2011. - 172 с. : ил. ; 21 см. - (Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника").Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем". Москва, 2011 .
     Библиогр.: с. 169-170 (27 назв.). Библиогр.: с. 169-170 (27 назв.).Наноструктуры -- Производство -- Химические методы -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-060.7я73-2/ Гаврилов, С. А., Сергей Александрович (д-р техн. наук, электроника; ).С. А.Сергей АлександровичБелов, Алексей Николаевич (канд. техн. наук; )/Железнякова, Анастасия Вячеславовна /
Связаться с нами:

тел.: 8-800-100-01-96 , 8(812)310-71-37

e-mail: office@nlr.ru