Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами", [проектирование ИС с проектными нормами менее 100 нм, интегральная наноэлектроника]
2011-4/9781 2011-4/9781 - 500 экз.978-5-7256-0647-8/[2011-82093]/русский (rus)/Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" : [проектирование ИС с проектными нормами менее 100 нм, интегральная наноэлектроника] / В.И. Шевяков ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" : [проектирование ИС с проектными нормами менее 100 нм, интегральная наноэлектроника] / В.И. Шевяков.Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" : [проектирование ИС с проектными нормами менее 100 нм, интегральная наноэлектроника].Москва/МИЭТ/, 2011 ( ). - МИЭТ, 2011. - 95 с. : ил. ; 21 см. - (Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника").Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" : [проектирование ИС с проектными нормами менее 100 нм, интегральная наноэлектроника]. Москва, 2011 .
Библиогр.: с. 93 (6 назв.). Библиогр.: с. 93 (6 назв.).Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений/Кремниевые структуры -- Учебные издания для высших учебных заведений/З843.322.4я73-1/З844.15я73-1/
Библиогр.: с. 93 (6 назв.). Библиогр.: с. 93 (6 назв.).Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений/Кремниевые структуры -- Учебные издания для высших учебных заведений/З843.322.4я73-1/З844.15я73-1/