Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники", [физико-химические и конструктивно-технологические принципы создания устройств наноэлектроники, технология наноэлектроники]
- 500 экз.978-5-7256-0650-8/[2011-82095]/русский/Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" : [физико-химические и конструктивно-технологические принципы создания устройств наноэлектроники, технология наноэлектроники] / В.К. Неволин ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" : [физико-химические и конструктивно-технологические принципы создания устройств наноэлектроники, технология наноэлектроники] / В.К. Неволин.Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" : [физико-химические и конструктивно-технологические принципы создания устройств наноэлектроники, технология наноэлектроники].Москва/МИЭТ/, 2011 ( ). - МИЭТ, 2011. - 163 с. : ил. ; 20 см. - (Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника").Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" : [физико-химические и конструктивно-технологические принципы создания устройств наноэлектроники, технология наноэлектроники]. Москва, 2011 .
Библиогр. в конце гл. Библиогр. в конце гл.Наноэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Зондовая микроскопия -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/nlr_sh2/З844.1-01я73-1/
Библиогр. в конце гл. Библиогр. в конце гл.Наноэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Зондовая микроскопия -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/nlr_sh2/З844.1-01я73-1/