Технология литографических процессов, учебное пособие, [для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"]
2011-4/10352 - 100 экз.978-5-94506-296-2/[2011-87720]/русский (rus)/Технология литографических процессов : учебное пособие : [для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"] / Б.А. Лапшинов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т)".Технология литографических процессов : учебное пособие : [для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"] / Б.А. Лапшинов.Технология литографических процессов : учебное пособие : [для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"].Москва/Московский государственный институт электроники и математики/, 2011 ( ). - Московский государственный институт электроники и математики, 2011. - 94 с. : ил. ; 21 см.Технология литографических процессов : учебное пособие : [для студентов 3 и 4 курсов, обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение"]. Москва, 2011 .
Библиогр.: с. 93 (4 назв.). Библиогр.: с. 93 (4 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-060.6я73-1/З844.15-06я73-1/
Библиогр.: с. 93 (4 назв.). Библиогр.: с. 93 (4 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-060.6я73-1/З844.15-06я73-1/