Зарубежная электронная техника. 1990, 5(348): Диффузионное легирование в современной технологии кремниевых ИС
русский/Диффузионное легирование в современной технологии кремниевых ИС / З.Ю. Готра и др.Диффузионное легирование в современной технологии кремниевых ИС / З.Ю. Готра и др.Диффузионное легирование в современной технологии кремниевых ИС.Б. м./, 1990 ( ). - 1990.Диффузионное легирование в современной технологии кремниевых ИС. Б. м., 1990 .Зарубежная электронная техника : Науч.-техн. сборник / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"1990, 5(348)