Описание RUSMARC Карточка

Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами"

2011-3/38971 2011-3/38971 - 550 экз.978-5-7256-0648/[2011-91095]/русский (rus)/Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" / Д.Г. Громов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т элект. техники (техн. ун-т).Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" / Д.Г. Громов.Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами".Москва/МИЭТ/, 2011 ( ). - МИЭТ, 2011. - 204 с. : ил. ; 21 см. - (Учебно-методический комплекс для магистров).Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами". Москва, 2011 .
     Библиогр.: с. 188-201 (159 назв.). Библиогр.: с. 188-201 (159 назв.).Металлизация в системах с наноразмерными элементами/Сверхбольшие интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-060.7я73-1/ Громов, Д. Г., Дмитрий Геннадьевич (д-р техн. наук, электроника; ).Д. Г.Дмитрий Геннадьевич