Технологическое оснащение и средства контроля в производстве микроэлектронных изделий
[2011-92426]/русский/Технологическое оснащение и средства контроля в производстве микроэлектронных изделий .Технологическое оснащение и средства контроля в производстве микроэлектронных изделий.Технологическое оснащение и средства контроля в производстве микроэлектронных изделий. - 2-е изд., испр. и доп.Москва/МИЭМ/, 2011 ( ). - МИЭМ, 2011. - ; 30 см.Технологическое оснащение и средства контроля в производстве микроэлектронных изделий. 2-е изд., испр. и доп.Москва, 2011 .