Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем"
2012-3/1625 2012-3/1625 - 550 экз.978-5-7256-0663-8/[2011-101651]/русский (rus)/Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" / С.П. Тимошенков, В.В. Калугин ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Нац. исслед. ун-т "МИЭТ".Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" / С.П. Тимошенков, В.В. Калугин.Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем".Москва/МИЭТ/, 2011 ( ). - МИЭТ, 2011. - 199 с. : ил. ; 21 см. - (Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника").Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем". Москва, 2011 .Кремний-диэлектрик, система -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений/З852-06я73-1/З844.15-06я73-1/