Материалы и технология толстых пленок, Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы"
98-3/3676 - 200 экз.5-7256-0156-0/[98-11958]/русский/Материалы и технология толстых пленок : Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы" / В.З. Петрова, А.И. Тельминов, Р.Ф. Шутова ; Под. ред. к.т.н. А.И. Тельминова ; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т).Материалы и технология толстых пленок : Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы" / В.З. Петрова, А.И. Тельминов, Р.Ф. Шутова.Материалы и технология толстых пленок : Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы".М./МИЭТ/, 1997 ( ). - МИЭТ, 1997. - 260 с. : ил. ; 20 см.Материалы и технология толстых пленок : Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы". М., 1997 .
Библиогр.: с. 256-258. Библиогр.: с. 256-258.Толстые пленки -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Толстые пленки -- Учебные издания для высшей школы/З844.15я73-1/
Библиогр.: с. 256-258. Библиогр.: с. 256-258.Толстые пленки -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Толстые пленки -- Учебные издания для высшей школы/З844.15я73-1/