Обзоры по электронной технике. Вып.332: Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы
русский (rus)/Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы / М.А. Барил и др.Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы / М.А. Барил и др.Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы., 1971 ( ). - 1971. - (... ; Вып.332 ; 1971, №8).Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы. 1971 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.332