Оптимизация технологического процесса производства микроэлектронных схем
русский/Оптимизация технологического процесса производства микроэлектронных схем / В.И. Митасов, В.И. Еремеевский.Оптимизация технологического процесса производства микроэлектронных схем / В.И. Митасов, В.И. Еремеевский.Оптимизация технологического процесса производства микроэлектронных схем.Б. м./, 1975 ( ). - 1975. - (... ; Вып.296 ; 1975, Вып.3).Оптимизация технологического процесса производства микроэлектронных схем. Б. м., 1975 .