Обзоры по электронной технике. Вып.557: Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме, (По данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 года)
русский (rus)/Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме : (По данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 года) / В.А. Лабунов, В.П. Пархутик.Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме : (По данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 года) / В.А. Лабунов, В.П. Пархутик.Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме : (По данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 года)., 1978 ( ). - 1978. - (... ; Вып.557 ; 1978, Вып.1).Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме : (По данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 года). 1978 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.557