Обзоры по электронной технике. Вып.1370: Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем
русский (rus)/Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем / Т.Г. Духанова и др.Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем / Т.Г. Духанова и др.Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем.Б. м./, 1988 ( ). - 1988. - (... ; Вып.1370 ; 1988, Вып.4).Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем. Б. м., 1988 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.1370