Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов Ч.2
русский/Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов. Ч.2 / А.В. Бакун, В.В. Щеглова.Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов / А.В. Бакун, В.В. Щеглова.Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов.Б. м./, 1974 ( ). - 1974. - (... ; Вып.203 ; 1974, Вып.5).Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов. Б. м., 1974 .