Имплантационное легирование полупроводников Ч.1
русский/Имплантационное легирование полупроводников. Ч.1 / В.В. Титов.Имплантационное легирование полупроводников / В.В. Титов.Имплантационное легирование полупроводников.Б. м./, 1974 ( ). - 1974. - (... ; Вып.223 ; 1974, Вып.10).Имплантационное легирование полупроводников. Б. м., 1974 .