Обзоры по электронной технике. Вып.472: Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике
русский/Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / Р.Р. Резвый, М.С. Финарев.Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / Р.Р. Резвый, М.С. Финарев.Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике.Б. м./, 1977 ( ). - 1977. - (... ; Вып.472 ; 1977, Вып.7).Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике. Б. м., 1977 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.472