Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии
русский/Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии / А.П. Карацюба, Т.П. Тимашева.Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии / А.П. Карацюба, Т.П. Тимашева.Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии.Б. м./, 1985 ( ). - 1985. - (... ; Вып.1092 ; 1985, Вып.1).Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии. Б. м., 1985 .