Обзоры по электронной технике. Вып.845: Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов
русский (rus)/Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов / В.В. Степанов, В.В. Сысоев.Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов / В.В. Степанов, В.В. Сысоев.Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов.Б. м./, 1981 ( ). - 1981. - (... ; Вып.845 ; 1981, Вып.21).Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов. Б. м., 1981 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.845