Обзоры по электронной технике. Вып.1351: Очистка технологических вентиляционных выбросов от примесей гидридных газов
русский/Очистка технологических вентиляционных выбросов от примесей гидридных газов / В.Н. Щербаков, С.С. Кульнева.Очистка технологических вентиляционных выбросов от примесей гидридных газов / В.Н. Щербаков, С.С. Кульнева.Очистка технологических вентиляционных выбросов от примесей гидридных газов.Б. м./, 1988 ( ). - 1988. - (... ; Вып.1351 ; 1988, Вып.6).Очистка технологических вентиляционных выбросов от примесей гидридных газов. Б. м., 1988 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.1351