Вакуумные методы получения тонких пленок, Учеб. пособие, [Для студентов спец. 200200 и 200800]
99-3/15236 [99-34558]/русский (rus)/Вакуумные методы получения тонких пленок : Учеб. пособие : [Для студентов спец. 200200 и 200800] / А. Н. Головяшкин ; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Пенз. гос. ун-т.Вакуумные методы получения тонких пленок : Учеб. пособие : [Для студентов спец. 200200 и 200800] / А. Н. Головяшкин.Вакуумные методы получения тонких пленок : Учеб. пособие : [Для студентов спец. 200200 и 200800].Пенза/Изд-во ПГУ/, 1999 ( ). - Изд-во ПГУ, 1999. - 103, [4] с. : ил. ; 20 см.Вакуумные методы получения тонких пленок : Учеб. пособие : [Для студентов спец. 200200 и 200800]. Пенза, 1999 .
Библиогр. в конце кн. (10 назв.). Библиогр. в конце кн. (10 назв.).Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Учебные издания для высшей школы/З844.13-060.7я73-1/
Библиогр. в конце кн. (10 назв.). Библиогр. в конце кн. (10 назв.).Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Учебные издания для высшей школы/З844.13-060.7я73-1/