Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении. 2: Наноинженерия углеродных структур, монография
2012-3/23653 2012-3/23653 - 300 экз.978-5-905872-04-4/[2012-59212]/русский/Наноинженерия углеродных структур : монография / Н.Н. Балан, В.А. Васин, Е.Н. Ивашов [и др.].Наноинженерия углеродных структур : монография / Н.Н. Балан, В.А. Васин, Е.Н. Ивашов [и др.].Наноинженерия углеродных структур : монография.Б. м./, 2012 ( ). - 2012. - 210 с. : ил.Наноинженерия углеродных структур : монография. Б. м., 2012 .
В вып. дан. авт.: Балан Н.Н., к.т.н., Васин В.А., к.т.н., доц., Ивашов Е.Н., д.т.н., проф. [и др.]. - 50-летию МИЭМ посвящается. - Библиогр.: с. 170-180 (125 назв.). Библиогр.: с. 170-180 (125 назв.).Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-и монографий2Тонкие пленки -- Нанесение на подложку -- Зондовые методы/Тонкие пленки -- Нанесение из газовой фазы/Наноуглеродные материалы -- Применение в электронике/З844.1-035.04-1с341,0/З85/З844.13-060.7/
В вып. дан. авт.: Балан Н.Н., к.т.н., Васин В.А., к.т.н., доц., Ивашов Е.Н., д.т.н., проф. [и др.]. - 50-летию МИЭМ посвящается. - Библиогр.: с. 170-180 (125 назв.). Библиогр.: с. 170-180 (125 назв.).Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-и монографий2Тонкие пленки -- Нанесение на подложку -- Зондовые методы/Тонкие пленки -- Нанесение из газовой фазы/Наноуглеродные материалы -- Применение в электронике/З844.1-035.04-1с341,0/З85/З844.13-060.7/