Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники, [учебное пособие]
2008-4/15957 - 75 экз.978-5-94506-200-9/[2008-58410]/русский/Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники : [учебное пособие] / Федер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования Моск. гос. ин-т электроники и математики (технический университет).Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники : [учебное пособие] / Федер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования Моск. гос. ин-т электроники и математики (технический университет).Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники : [учебное пособие].Москва/Московский государственный институт электроники и математики/, 2008 ( ). - Московский государственный институт электроники и математики, 2008. - 34 с. : ил. ; 21 см.Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники : [учебное пособие]. Москва, 2008 .
Библиогр.: с. 33 (8 назв.). Библиогр.: с. 33 (8 назв.).Полимеры -- Обработка ионно-плазменная -- Учебные издания для высших учебных заведений/Полимеры -- Применение в радиоэлектронике -- Учебные издания для высших учебных заведений/З843.414.108я73-1/
Библиогр.: с. 33 (8 назв.). Библиогр.: с. 33 (8 назв.).Полимеры -- Обработка ионно-плазменная -- Учебные издания для высших учебных заведений/Полимеры -- Применение в радиоэлектронике -- Учебные издания для высших учебных заведений/З843.414.108я73-1/